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发明名称
摘要
申请公布号 JP3238114(B2) 申请公布日期 2001.12.10
申请号 JP19970357553 申请日期 1997.12.25
申请人 发明人
分类号 F25B21/02;H01L35/30;H01L35/32;(IPC1-7):H01L35/30 主分类号 F25B21/02
代理机构 代理人
主权项
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