发明名称 METHOD FOR FORMING FERROELECTRIC CAPACITOR OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20010108748(A) 申请公布日期 2001.12.08
申请号 KR20000029639 申请日期 2000.05.31
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 CHO, JUN HUI;SUL, YEO SONG
分类号 (IPC1-7):H01L27/105 主分类号 (IPC1-7):H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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