APPARATUS FOR UNLOADING AUTOMATICALLY SUBSTRATE,申请号KR20000029138-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR UNLOADING AUTOMATICALLY SUBSTRATE
摘要
申请公布号	KR20010108585(A)	申请公布日期	2001.12.08
申请号	KR20000029138	申请日期	2000.05.29
申请人	HAN SONG HITECH CO., LTD.	发明人	SHIN, MUN HYEON
分类号	(IPC1-7):H01L21/68	主分类号	(IPC1-7):H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
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