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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SOI WAFER
摘要
申请公布号 KR20010109033(A) 申请公布日期 2001.12.08
申请号 KR20000030158 申请日期 2000.06.01
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SO, SANG MUN
分类号 (IPC1-7):H01L21/02 主分类号 (IPC1-7):H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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