发明名称 METHOD FOR FORMING METAL INTERCONNECTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20010107101(A) 申请公布日期 2001.12.07
申请号 KR20000028335 申请日期 2000.05.25
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, GIL HYEON;KIM, BYEONG HUI;LEE, JONG MYEONG;LEE, MYEONG BEOM
分类号 H01L21/283;(IPC1-7):H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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