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发明名称 BOAT OF PLASMA SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20010106992(A) 申请公布日期 2001.12.07
申请号 KR20000028125 申请日期 2000.05.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, TAE CHEOL
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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