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发明名称 AIR EXHAUST SYSTEM OF CHAMBER
摘要
申请公布号 KR20010107334(A) 申请公布日期 2001.12.07
申请号 KR20000028763 申请日期 2000.05.26
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, JONG MIN
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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