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发明名称 APPARATUS FOR LOADING AUTOMATICALLY SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20010107466(A) 申请公布日期 2001.12.07
申请号 KR20000029139 申请日期 2000.05.29
申请人 HAN SONG HITECH CO., LTD. 发明人 SHIN, MUN HYEON
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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