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In einen Mikrostrukturmessgerät (1) ist ein Feinsteuerungsmechanismus (50) und ein Grobsteuerungsmechanismus (60) jeweils zur feinen und zur gröberen Auslenkung eines Taststiftes (12) vorgesehen, so dass die entsprechenden Mechanismen (50, 60) in kombinierter Weise betätigt werden, um in einfacher Weise die Bewegung des Taststiftes (12) in einem weiteren Bereich in kurzer Zeit zu steuern. Ferner ist ein ausgleichender beweglicher Bereich (53), der sich in einer Richtung entgegengesetzt zu einem antreibenden beweglichen Bereich (42) bewegt, an dem Feinsteuerungsmechanismen (50) vorgesehen. Da eine durch die Bewegung des antreibenden beweglichen Bereiches (52) verursachte Reaktionskraft durch eine weitere, durch die Bewegung des ausgleichenden beweglichen Bereiches (53) verursachte Reaktionskraft an einem fixierten Bereich (5) aufgehoben wird, wird keine mechanische Beeinflussung zwischen den entsprechenden Mechanismen (50, 60) hervorgerufen, wodurch die Bewegung des Taststiftes (12) in genauer Weise steuerbar ist.
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