METHOD FOR THE PURIFICATION OF HYDROGEN PEROXIDE SOLUTIONS
摘要
Die Erfindung betrifft ein neues chromatographisches Verfahren zur Aufreinigung von Wasserstoffperoxidlösungen, wodurch hochreine Lösungen erhalten werden, die in der Halbleitertechnik unter den derzeit hohen Reinheitsanforderungen einsetzbar sind.
申请公布号
WO0192149(A1)
申请公布日期
2001.12.06
申请号
WO2001EP03584
申请日期
2001.03.29
申请人
MERCK PATENT GMBH;OETER, DIETMAR;DUSEMUND, CLAUS;NEUMANN, EWALD;FREISSLER, KLAUS;HOSTALEK, MARTIN
发明人
OETER, DIETMAR;DUSEMUND, CLAUS;NEUMANN, EWALD;FREISSLER, KLAUS;HOSTALEK, MARTIN
