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<p>Es wird en mikromechanisches Aktorarray mit fluidischem Antrieb bereitgestellt, das aus einer im wesentlichen zweidimensional ausgebildeten Aktorplatte besteht, die eine Vielzahl flexibler und nicht-flexibler Bereiche aufweist, die in Matrixanordnung angeordnet sind, wobei die Aktorplatte eine Vielzahl von Druckkammern eines fluidischen Antriebs abschliesst, und die flexiblen Bereiche durch einen ersten nichtflexiblen Bereich voneinander getrennt sind, und die flexiblen Bereiche wenigstens einen zweiten nicht-flexiblen Bereich umgeben. Dabei schliesst ein äusserer Rand der flexiblen Bereiche eine erste Fläche mit einer ersten Geometrie und einem ersten Schwerpunkt ein, und ein äusserer Rand des zweiten nichtflexiblen Bereichs schliesst eine zweite Fläche mit einer zweiten Geometrie und einem zweiten Schwerpunkt ein. Ausserdem wird ein Blindenschriftarray, ein Ventilarray, ein elektrisches Relais und ein Spiegelarray mit dem mikromechanischen Aktorarray bereitgestellt.</p> |
