发明名称 Alkoxyformoxysilane, ein Verfahren zu ihrer Herstellung sowie ihre Verwendung
摘要
申请公布号 DE59608060(D1) 申请公布日期 2001.12.06
申请号 DE19965008060 申请日期 1996.11.27
申请人 BASF AG 发明人 FRIEDRICH, DR.;LEUTNER, DR.;MRONGA, DR.;SCHMID, DR.
分类号 C07F7/04;C23C16/40;H01L21/316;(IPC1-7):C07F7/04 主分类号 C07F7/04
代理机构 代理人
主权项
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