发明名称 Littrow-Gitter sowie Verwendungen eines Littrow-Gitters
摘要 Ein Littrow-Gitter (1) weist eine Vielzahl paralleler, periodisch aufeinanderfolgender Beugungsstrukturen (3) auf. Diese sind auf einem eine Grundfläche (4) vorgebenden Träger (2) angeordnet. Eine Beugungsstruktur (3) umfaßt eine im wesentlichen im Littrow-Winkel (delta) zur Grundfläche (4) geneigte Blaze-Flanke (5). Weiterhin weist die Beugungsstruktur (3) eine Gegenflanke (6) auf, die mit der Blaze-Flanke (5) im Scheitel einer Beugungsstruktur (3) einen Apex-Winkel (alpha) bildet, der geringer ist als 90 DEG . Die Gegenflanke (6) umfaßt mindestens zwei im wesentlichen ebene Flächenabschnitte (7, 8). Diese erstrecken sich aneinander angrenzend gegeneinander um einen Neigungswinkel (beta) geneigt parallel zur Erstreckungsrichtung der Beugungsstruktur (3). Durch die Neigung der mindestens zwei Flächenabschnitte (7, 8) zueinander weist die Gegenflanke (6) eine insgesamt von der Lichteinfallsseite her gesehen konkave Oberfläche auf. Es resultiert ein Littrow-Gitter (1) hoher Reflektivität, das mit geringem Materialabtrag bei der Herstellung realisiert werden kann.
申请公布号 DE10025214(A1) 申请公布日期 2001.12.06
申请号 DE20001025214 申请日期 2000.05.22
申请人 CARL ZEISS 发明人 HEIDEMANN, KLAUS;KLEEMANN, BERND
分类号 G02B5/08;G02B1/10;G02B5/18;G02B5/30;H01L21/027;(IPC1-7):G02B5/18;G03F7/20 主分类号 G02B5/08
代理机构 代理人
主权项
地址