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发明名称 Waferträger
摘要
申请公布号 DE4223327(C2) 申请公布日期 2001.12.06
申请号 DE19924223327 申请日期 1992.07.16
申请人 FLUOROWARE, INC. 发明人 KOS, ROBERT D.
分类号 B65D85/00;B65D85/86;B65G49/07;H01L21/673;(IPC1-7):B65D85/30;B65D85/48;B65D1/38;B65D85/62;H01L21/68 主分类号 B65D85/00
代理机构 代理人
主权项
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