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发明名称 Formation of thin films resistors
摘要
申请公布号 EP0955642(A3) 申请公布日期 2001.12.05
申请号 EP19990303244 申请日期 1999.04.27
申请人 MORTON INTERNATIONAL, INC.;MICROCOATING TECHNOLOGIES, INC. 发明人 HUNT, ANDREW T.;TZYY, JIUAN HWANG;SHAO, HONG;THOMAS, JOC
分类号 C23C16/40;C23C16/453;H01C7/00;H01C17/20;H01C17/24;H01L21/02;H05K1/16;H05K3/06;(IPC1-7):H01C7/00;H01C17/08 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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