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发明名称 A PROCESS FOR OBTAINING A LIFT-OFF IMAGING PROFILE
摘要
申请公布号 EP0824719(B1) 申请公布日期 2001.12.05
申请号 EP19970905982 申请日期 1997.02.18
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LIMITED 发明人 SPAK, MARK, A.;DAMMEL, RALPH, R.;DEPRADO, MICHAEL
分类号 G03F7/022;G03F7/039;G03F7/09;G03F7/26;G03F7/38;G03F7/40;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
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