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发明名称 IN/OUT LOAD PORT TRANSFER MECHANISM
摘要
申请公布号 EP1159214(A1) 申请公布日期 2001.12.05
申请号 EP19990966152 申请日期 1999.12.13
申请人 ASYST TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BONORA, ANTHONY, C.;GOULD, RICHARD, H.
分类号 B65G47/46;B65G1/00;B65G47/90;B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):B65G37/00 主分类号 B65G47/46
代理机构 代理人
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