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经营范围
发明名称
DEVICE AND METHOD FOR MEASURING THE TEMPERATURE OF SUBSTRATES
摘要
申请公布号
EP1159589(A1)
申请公布日期
2001.12.05
申请号
EP20000902611
申请日期
2000.01.19
申请人
STEAG RTP SYSTEMS GMBH
发明人
HAUF, MARKUS
分类号
G01J5/00;G01J5/08;(IPC1-7):G01J5/08
主分类号
G01J5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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