发明名称 DEVICE AND METHOD FOR MEASURING THE TEMPERATURE OF SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1159589(A1) 申请公布日期 2001.12.05
申请号 EP20000902611 申请日期 2000.01.19
申请人 STEAG RTP SYSTEMS GMBH 发明人 HAUF, MARKUS
分类号 G01J5/00;G01J5/08;(IPC1-7):G01J5/08 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
主权项
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