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发明名称 RADIATION SOURCE MODULE AND CLEANING APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 EP1159226(A1) 申请公布日期 2001.12.05
申请号 EP19990953469 申请日期 1999.11.03
申请人 TROJAN TECHNOLOGIES INC. 发明人 PEARCEY, RICHARD;HESSE, NICHOLAS, HELMUT;SHECULSKI, CHRISTOPHER, JEFFERY
分类号 C02F1/32;(IPC1-7):C02F1/32 主分类号 C02F1/32
代理机构 代理人
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