| 发明名称 |
Height scanning interferometer for determining the absolute position and surfaceprofile of an object with respect to datum |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU4142701(A) |
申请公布日期 |
2001.12.03 |
| 申请号 |
AU20010041427 |
申请日期 |
2001.01.25 |
| 申请人 |
ZYGO CORPORATION |
发明人 |
PETER DE GROOT;XAVIER COLONNA DE LEGA;LESLIE L. DECK;JAMES W. KRAMER |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B9/02;G01B11/24;G01B11/245 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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