发明名称 高Q之RF元件之制造方法
摘要 本说明书描述一种增进以厚膜糊技术所成形之导电金属条之边缘锐度的方法。优点是具有使用厚膜技术所形成之导电条大部分的特性,同时在导电条的边缘使用薄膜整饰条克服边缘精确度不佳的缺点。
申请公布号 TW466798 申请公布日期 2001.12.01
申请号 TW089103722 申请日期 2000.05.24
申请人 鲁森工业技术股份有限公司 发明人 罗勃 佛莱;罗元礼;戴锦梁
分类号 H01P11/00 主分类号 H01P11/00
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种高Q之RF元件之制造方法包括:(a)在基底上沈积一导电条,其步骤包括:(i)在该基底上施加一导电金属糊以及(ii)烘烤该导电金属糊以形成导电条,该导电条的边界为边缘E1与边缘E2,量测边缘E1与边缘E2间的宽度,部分的宽度为W1,其它部分的宽度为W2,其中W1不等于W2,(b)在该导电条上成形金属整饰条,该金属整饰条的宽度为W3,其中W3>W1以及>W2,且其中该金属整饰条的宽度延伸超过边缘E1与边缘E2。2.如申请专利范围第1项的方法,其中该导电条的厚度范围为10-250微米。3.如申请专利范围第2项的方法,其中该金属整饰条的厚度范围为1-50微米。4.如申请专利范围第1项的方法,其中该导电金属糊选用自铜、银、金、钨糊。5.如申请专利范围第4项的方法,其中该金属整饰条选用自铜、银、金、铝、氮化钛、氮化钽及钽。6.如申请专利范围第1项的方法,其中成形该金属整饰条的步骤:(c)在该导电条及该基底的表面上沈积一金属层,(d)选择性地部分去除该金属层以形成该金属整饰条。7.如申请专利范围第6项的方法,其中选择性地部分去除该金属层是使用光学制版法。8.一种高Q之RF元件之制造方法,包括:(a)在一基底上沈积沈积一导电条,其步骤包括:(i)在该基底上施加一导电金属糊以及(ii)烘烤该导电金属糊以形成导电条,该导电条的边界为边缘E1与边缘E2,量测边缘E1与边缘E2间的宽度,部分宽度为W1,其它部分的宽度为W2,其中W1不等于W2,(b)成形第一金属整饰条以覆盖该导电条的边缘E1,以及第二金属整饰条以覆盖该导电条的边缘E2。9.如申请专利范围第8项的方法,其中该导电条的厚度范围为10-250微米。10.如申请专利范围第9项的方法,其中该金属整饰条的厚度范围为1-50微米。11.如申请专利范围第8项的方法,其中该导电金属糊选用自铜、银、金、钨糊。12.如申请专利范围第11项的方法,其中该金属整饰条选用自铜、银、金、铝、氮化钛、氮化钽及钽。13.如申请专利范围第8项的方法,其中成形该金属整饰条的步骤:(c)在该导电条及该基底的表面上沈积一金属层,(d)选择性地部分去除该金属层以形成该金属整饰条。14.如申请专利范围第13项的方法,其中选择性地部分去除该金属层是使用光学制版法。图式简单说明:第一图-第三图是使用厚膜法制造条状导体之方法步骤的示意图;第四图是使用第一图-第三图之厚膜法所制造之一批条状导体的平面图;第五图-第七图说明本发明的一实施例;第八图以本发明的方法所制造之成品的平面图;第九图及第十图说明本发明的另一实施例,与第六图及第七图类似;以及第十一图显示描述本发明的特征尺寸。
地址 美国