| 主权项 |
1.一种气体中微量不纯物之分析方法,包括:对一承载气体所搬送一试料气体中的一主成分和一微量不纯物,以一气相层析仪作分离,从该气相层析仪所流出气体,导入到一大气压离子化质谱仪,并将该微量不纯物作分析的方法,其中该承载气体系使用一混合气体。2.一种气体中微量不纯物之分析方法,包括:对一承载气体搬送一试料气体中的一主成分和一微量不纯物,以一气相层析仪作分离,从该气相层析仪所流出气体,添加一精制气体,并导入到一大气压离子化质谱仪,且将该微量不纯物作分析的方法,其中该承载气体和该精制气体至少有一个使用混合气体。3.如申请专利范围第1项或第2项所述之气体中微量不纯物之分析方法,其中该混合气体系由氩气和氦气的混合气体。4.一种气体中微量不纯物之分析方法,包括:对一承载气体搬送一试料气体中的一主成分和一微量不纯物,以一气相层析仪作分离,从该气相层析仪所流出气体,导入到一大气压离子化质谱仪,并将该微量不纯物作分析的方法,其中该承载气体使用单一成分气体,同时该流出气体与该承载气体为添加不同种类的精制气体。5.如申请专利范围第4项所述之气体中微量不纯物之分析方法,其中该承载气体为氦气情况时,添加精制气体为单独的氩气、氦气和氩气的混合气体、氦气或氩气与氢气的混合气体,该承载气体为氩气情况时,添加精制气体为单独的氦气、或氦气和氩气的混合气体。6.一种气体中微量不纯物之分析方法,包括:以氦气作为一承载气体,在一气相层析仪上导入试料气体,将该试料气体中的主成分与微量不纯物分离,从气相层析仪流出气体以单独的氩气之精制气体、或从添加氩气和氦气所混合成的精制气体,在大气压离子化质谱仪导入,将该微量不纯物作分析,以质量数41或81作为不纯物的氢气,以质量数16来分别检查出作为不纯物的甲烷。7.一种气体中微量不纯物之分析方法,包括:以氦气作为承载气体,在一气相层析仪上导入试料气体,将该试料气体中的主成分与微量不纯物分离,从气相层析仪流出气体添加精制气体,在大气压离子化质谱仪导入,对该微量不纯物作分析,其中上述精制气体系单独氦气的精制气体、氦气和氩气混合的精制气体以及氦气或氩气与氢气混合的精制气体中至少两种切换使用。8.如申请专利范围第2.4.5.6或7项所述之气体中微量不纯物之分析方法,其中增减该精制气体的添加量,系对应到该流出气体种类的增减。9.一种气体中微量不纯物之分析装置,包括:一气相层析仪,分离由一承载气体搬送试料气体中的一主成分和一微量不纯物,以及一大气压离子化质谱仪连接在该气相层析仪下端,在该气相层析仪之气体导出部和该大气压离子化质谱仪之气体导入部之间的路径上,设计精制气体添加路径,用以添加从气相层析仪流出气体之精制气体,在该精制气体添加路径上,设计承载气体和同种的精制气体供应的路径,与不同种类的精制气体供给的路径,并设计一混合比例调节装置,以调节两精制气体的混合比例。10.如申请专利范围第9项所述之气体中微量不纯物之分析装置,其中该精制气体添加路径上,由该流出气体的种类,设计添加量控制装置以调节精制气体的添加量。11.如申请专利范围第3项所述之气体中微量不纯物之分析方法,其中增减该精制气体的添加量,系对应到该流出气体种类的增减。图式简单说明:第一图绘示本发明装置的第1实施例系统图形;第二图绘示本发明装置的第2实施例系统图形;第三图绘示本发明装置的第3实施例系统图形;第四图绘示本发明装置的第4实施例系统图形;第五图绘示关于第1实施例之氩气浓度与各种不纯物的最高强度关系图形;第六图绘示关于第1实施例之有无氩气下,甲烷的最高状态比较图形;第七图绘示关于第1实施例加入氩气时,甲烷的检查数量线图形;第八图绘示关于第2实施例之有无氩气下,一氧化碳的最高状态比较图形;第九图绘示关于第2实施例加入氩气时,一氧化碳的检查数量线图形;第十图绘示关于第3实施例之有无氦气下,二氧化碳的最高状态比较图形;第十一图绘示关于第5实施例之有无氢气下,氮气的最高状态比较图形;以及第十二图绘示关于第5实施例加入氢气下,氮气的检查数量线图形。 |
