| 主权项 |
1.一种测量仪器(100),用于测量在一基板(9)上之特 性尺寸(19),其中具有: a)一支承元件(15),提供在该基板之对面; b)一非光学度量装置(23),装配在该支承元件(15)之 上,及 c)正常空气压力情况存在于该非光学度量装置(23) 与该基板(9)之间。2.如申请专利范围第1项之测量 仪器,其中该非光学度量装置(23)是一原子力显微 镜AFM(24)。3.如申请专利范围第1项之测量仪器,其 中该非光学度量装置包含一电子束透镜(40)。4.如 申请专利范围第2项之测量仪器,其中在该非光学 度量装置(23)之外,提供有一光学透镜(10),此光学透 镜是使用于在该基板(9)上之特性尺寸之快速定位 。5.如申请专利范围第3项之测量仪器,其中在该非 光学度量装置(23)之外,提供有一光学透镜(10),此光 学透镜是使用于在该基板(9)上之特性尺寸之快速 定位。6.如申请专利范围第4项之测量仪器,其中该 非光学度量装置(23)及该透镜(10)是装配在支承元 件(15)上互相贴近及因此刚性地互相配合。7.如申 请专利范围第1项之测量仪器,其中提供有一可位 移之度量台(4),其上能放置待测量之基板(9),及提 供有一干涉计(26),其决定该度量台(4)之该基准位 置。8.如申请专利范围第5项之测量仪器,其中该干 涉计(26)亦泱定及监视该支承元件(15)之位置。9.如 申请专利范围第5项之测量仪器,其中该支承元件( 15)上装配有一焦点位置转换器(22),其指示该透镜( 10)相关于该基板(9)之焦点位置及聚焦该透镜(10)至 该基板(9)上。10.一种用来测量在一基板(9)上之特 性尺寸(19)之方法,其特征在于下列之步骤: a)移动至待测量之该特性尺寸(19),是在周围空气压 力之下; b)确定该特性尺寸(19)在该基板上之粗估位置; c)测定已移动特性尺寸(19),使用一非光学度量装置 (23)在周围空气压力之下;及 d)决定该特性尺寸(19)之精确位置及广度。11.如申 请专利范围第10项之方法,其特征在于下列之步骤: a)安置该基板(9)在一可移动在X及Y方向之度量台(4) 上;及 b)确定该基板(9)之精确位置,其系自由干涉计确定 之度量台(4)之位置及该非光学度量装置(23)之位置 而定。12.如申请专利范围第10项之方法,其中该待 测之特性尺寸是经由一透镜(10)而移动。13.如申请 专利范围第10项之方法,其中该非光学度量装置(23) 是组态如一AFM(24)。14.如申请专利范围第10项之方 法,其中该非光学测量装置(23)是组态如一电子束 透镜(40)。15.如申请专利范围第10项之方法,其中该 基板(9)之对面提供有一支承元件(15);及该非光学 度量装置(23)及在一透镜(10)是装配在该支承元件( 15)上互相贴近,其方式使该光学度量装置(23)与该 透镜(10)是刚性的互相联结。16.如申请专利范围第 14项之方法,其中该支承元件(15)上装配有一焦点位 置转换器(22),其建立该透镜(10)关于该基板(9)之该 焦点位置。图式简单说明: 第一图显示测量仪器之第一实施例,其中基板是由 传送之光照明,精准的度量是经由一AFM执行。 第二图显示测量仪器之第二实施例,其中基板是由 一入射光照明,此精准的度量是经由一AFM执行。 第三图显示测量仪器之第三实施例,其中之基板是 由传送光照明,此精准的度量是经由一电子显微镜 执行。 第四图显示测量仪器之第四实施例,其中之基板是 由入射光照明,此精准的度量是经由一电子显微镜 执行。 |
