发明名称 用以控制线内装置的系统和方法
摘要 本发明揭露一种线内装置系统,包含数个子装置、一主机、数个装置控制器、以及一主控制器。子装置执行基底上预定的工作;主机储存将由子装置处理的基底资讯以及由子装置所执行之工作的资讯;各装置控制器根据基底及工作之资讯分别控制在子装置内之基底与工作,并经由通信互连且共用基底上的资讯。主控制器与装置控制器相连,控制装置控制器,并从装置控制器接收子装置的工作资讯,并将工作资讯发送给主机。此线内装置系统以及其控制方法,使控制更容易,并增加可靠度。
申请公布号 TW466386 申请公布日期 2001.12.01
申请号 TW088120993 申请日期 1999.12.01
申请人 三星电子股份有限公司 发明人 边圣;安钟范;许民宁;尹亨真
分类号 G05B19/00;H01L21/02 主分类号 G05B19/00
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种线内系统,包括 数个子装置,每一子装置依序执行一预定之工作; 一主机,用来储存将在子装置中处理有关基底的资 讯以及将由子装置执行的工作资讯; 数个装置控制器,每一个装置控制器控制由子装置 根据在基底上的资讯及工作资讯在基底上执行的 工作,并且每一装置控制器经由促使数据通信的连 接来共用基底的资讯;以及 一主控制器,与装置控制器相连接来控制该等装置 控制器,此主控制器由装置控制器接收有关由子装 置处理的工作资讯,并发送资讯给主机,以及将从 主机接收之基底资讯及工作资讯发送给对应的装 置控制器。2.如申请专利范围第1项之系统,其中主 控制器及装置控制器皆以可程式逻辑控制器来配 置。3.如申请专利范围第1项之系统,此系统更进一 步包括一与该主机连接之装置伺服器,此装置伺服 器由子装置接收由子装置所处理的工作资讯;更新 所接收之资讯;将资讯传送给主机;从主机接收子 装置处理之工作资讯;决定将基底的工作载入至子 装置的动作是否可以执行,以及将决定的结果传送 给多个子装置。4.如申请专利范围第1项之系统,其 中此系统更进一步包括一处理器位于主控制器与 装置伺服器间,并与主控制器与装置伺服器相连接 ;此处理器将由装置伺服器而来的资讯转换成主控 制器可识别的格式;将由主控制器而来的资讯转换 成装置伺服器可识别的格式。5.如申请专利范围 第1项之系统,其中装置控制器共享由主机经由一 链结模组传来之基底资讯,并经由一平行输出入装 置,接收自前一个装置控制器传来由先前子装置的 处理之工作资讯。6.如申请专利范围第5项之系统, 其中基底资讯包括工作已启始的载入器上之资讯, 以及卡匣、基底组、基底类型及等级之资讯。7. 如申请专利范围第5项之系统,其中工作资讯是在 衆多子装置间发送的,并包括左右子装置之基底接 收状态的资讯有关基底的资讯、以及基底组启始 与结束的资讯。8.如申请专利范围第1项之系统,其 中装置控制器之间经由电缆互连,而预定之装置控 制器经由电缆与主控制器相连接。9.如申请专利 范围第8项之系统,其中由电缆与主控制器相连接 预定之装置控制器,为位于最左边以及最右边的装 置控制器。10.一种控制线内装置系统的方法,包括 多个子装置,每一个依序执行基底上预定的工作; 多个装置控制器,每一个控制子装置的基底工作, 并与子装置相连接以与子装置通信;一主机储存基 底资讯和由子装置执行之工作资讯,此方法包括以 下步骤: (a)经由装置控制器发送一讯息给主机,此讯息指示 基底已载入到第一子装置; (b)由主机接收有关基底资讯与第一子装置的工作 资讯,并由第一子装置执行工作; (c)将已由第一子装置执行工作后的基底输送至第 二子装置,并将已由第一子装置处理过有关基底的 资讯由第一子装置的装置控制器传送给第二子装 置的装置控制器;以及 (d)接收由第一子装置之装置控制器接收到的基底 资讯,以及由主机接收有关第二子装置的工作资讯 ;控制第二子装置的工作。11.如申请专利范围第10 项之方法,其中更进一步包括一重复步骤(a)至(d)之 步骤。12.如申请专利范围第10项之方法,其中线内 装置系统进一步包括一主控制器,可由主机接收有 关基底的资讯及工作资讯,并传送资讯至对应的装 置控制器,而装置控制器及主控制器经由通信网路 共用资讯。13.如申请专利范围第10项之方法,其中 基底资讯由一链结模组发送,并包括工作已启始的 载入器上之资讯,以及有关卡匣、基底组、基底类 型及材质等级之资讯。14.如申请专利范围第10项 之方法,其中工作资讯是经由耦合于控制器之间平 行输出入装置来发送,并包括左、右子装置之接收 状态的资讯、基底的资讯、以及基底组启始与结 束的资讯。15.如申请专利范围第10项之方法,其中 步骤(c)将基底输送至第二子装置包括以下步骤: 检查基底组启始信号是否存在子装置中;以及 检查基底组结束信号是否存在子装置中。16.如申 请专利范围第15项之方法,其中方法更进一步包括 以下步骤: 当基底组的启始信号被侦测到时,识别基底组的启 始点,并将启始点经由平行输出入装置发送至下一 个子装置;以及 当基底组的结束信号被侦测到时,识别基底组的结 束点,并将结束点经由平行输出入装置发送至下一 个子装置。17.如申请专利范围第16项之方法,其中 方法更进一步包括以下步骤: 当基底组的启始信号没被侦测到时,识别前一个处 理过的基底组中倒数第二个基底为基底组的启始 点,并将启始点经由平行输出入装置发送至下一个 子装置;以及 当基底组的结束信号没被侦测到时,识别将被处理 的基底组的第一基底之前一基底为基底组的结束 点,并将结束点经由平行输出入装置发送至下一个 子装置。18.如申请专利范围第17项之方法,当没有 基底组启始点与结束点时,其中方法更进一步包括 一用基底组识别号ID以及基底卡匣识别号ID来侦测 启始点与结束点的步骤。图式简单说明: 第一图为完整传统线内装置之示意图; 第二图为如本发明的较佳具体实施例之线内装置 及其控制系统的示意图; 第三图图示如本发明的较佳具体实施例之主控制 器与装置控制器间之通信; 第四图图示如本发明的较佳具体实施例之主控制 器与装置控制器之时间超限程序; 第五图为如本发明的较佳具体实施例之平行输出 入装置的示意图;以及 第六图图示如本发明的较佳具体实施例之一程序, 来侦测装置之堆块(lot)启始与结束。
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