PRODUCCION DE PELICULAS DE BARRERA REVESTIDAS CON CARBONO QUE TIENEN UNA CONCENTRACION AUMENTADA DE CARBONO CON COORDINACION TETRAEDRICA.

摘要

SE DEPOSITA CARBONO SOBRE UN SUSTRATO A TRAVES DE DEPOSICION DE VAPOR QUIMICO MEJORADO DE PLASMA DE UN PROCESADOR QUE SE PUEDE DESCOMPONER QUE CONTIENE UN ADITIVO DE MATERIAL DE SEMILLAS. EL MATERIAL DE SEMILLA ES UN HIDROCARBURO QUE TIENE UNA ALTA CONCENTRACION DE CARBONO SP{SUP,3} COORDINADO EN FORMA DE TETRAEDRO. EL MATERIAL DE SEMILLA PROPORCIONA UNA MUESTRA PARA LA REPLICACION DE LOS ATOMOS DE CARBONO SP{SUP,3} COORDINADOS EN FORMA DE TETRAEDRO EN EL REVESTIMIENTO DE CARBONO AMORFO DEPOSITADO.