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发明名称
摘要
申请公布号	JP3082157(U)	申请公布日期	2001.11.30
申请号	JP20010004259U	申请日期	2001.05.24
申请人		发明人
分类号	B24D5/00;H01L21/683;H05B3/10;H05B3/18;(IPC1-7):H05B3/10;H01L21/68	主分类号	B24D5/00
代理机构		代理人
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