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发明名称 ULTRAVIOLET RADIATION PRODUCING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20010106114(A) 申请公布日期 2001.11.29
申请号 KR1020007012927 申请日期 2000.11.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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