PROBE WITH A DIFFRACTION GRATING FOR +1, 0 AND -1 ORDERS

摘要

Eine interferenzoptische Messeinrichtung zur Erfassung und Verfolgung der Bewegung eines mechanischen Elements (4) weist eine Lichtquelle (31) zur Abgabe eines interferenzfähigen Lichtbündels sowie ein Beugungsgitter und eine Sensoranordnung (33) auf. Von der Lichtquelle führt ein Strahlengang über das Beugungsgitter (32) zu der Sensoranordnung (33). Das Beugungsgitter zerlegt das Lichtbündel in mindestens drei Teilkomponenten, so dass auf der optischen Sensoranordnung (33) ein Lichtfleck mit drei einander überlappenden Maxima, dem mittleren nullten Maximum und dem beidseits davon liegenden minus ersten und plus ersten Maximum entsteht. Die Lichtstrahlen zur Erzeugung der drei Helligkeitsmaxima interferieren miteinander, so dass der resultierende überlagerte Leuchtfleck (46) Interferenzlinien enthält, die in einer oder anderen Richtung laufen, wenn das Beugungsgitter bewegt wird. Die Bewegung der Interferenzlinien wird mit der Sensoranordnung (33) erfasst und in einer Auswerteschaltung ausgewertet. Damit ist die präzise Erfassung jeder Bewegung des Beugungsgitters (32) möglich. Mit der vorgestellten Anordnung wird nahezu das gesamte von der Lichtquelle ausgesendete Licht zu erzeugendes Interferenzbilds ausgenutzt. Es entstehen somit lichtstarke Interferenzbilder schon bei geringen Lichtleistungen der Lichtquelle (31). Es können deshalb Bauelemente geringer Leistung zum Einsatz kommen.