Detektorvorrichtung zur Druckmessung basierend auf gemessenen Kapazitätswerten,申请号DE1996148048-传众专利搜索

发明名称	Detektorvorrichtung zur Druckmessung basierend auf gemessenen Kapazitätswerten
摘要
申请公布号	DE19648048(C2)	申请公布日期	2001.11.29
申请号	DE1996148048	申请日期	1996.11.20
申请人	FUJI ELECTRIC CO., LTD.	发明人	TSURUOKA, MICHIHIKO;KUDO, TAKAHIRO;TAKAHASHI, MASATO;KATO, NOBUHISA;NAKAMURA, KIMIHIRO;TSUKAMOTO, SHUSHI
分类号	G01L9/00;G01L9/12;(IPC1-7):G01L9/12;G01L13/06;H01L49/00;H01G5/16;G01L7/08	主分类号	G01L9/00
代理机构		代理人
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