| 摘要 |
<p>본 발명은 노광장치의 웨이퍼 로딩(loading) 방법에 관한 것으로, 본 발명의 웨이퍼 로딩 방법은 한 라트의 웨이퍼 수가 설정되어 웨이퍼 이송장치에 적재되면 웨이퍼 이송장치에 의해 X-Y 스테이지의 웨이퍼 홀더로 순차적으로 이송시키는 단계와, 웨이퍼 홀더로 이송되면 컴퓨터는 이송되는 웨이퍼가 한 라트에서 n번째 웨이퍼인지를 판단하는 단계와, 이송된 웨이퍼가 n번째 웨이퍼이면 로딩 위치 데이터를 컴퓨터에서 산출하고 저장하는 단계와, n번째 웨이퍼의 로딩 위치의 평균 데이터를 컴퓨터에서 산출하여 저장하는 단계와, 로딩 위치의 평균 데이터에 따라 웨이퍼 이송장치에 의해 웨이퍼를 이송시켜 웨이퍼 홀더에 로딩하는 단계로 구성하여 웨이퍼 로딩 위치 데이터의 정확성을 높여 웨이퍼 정렬 오류를 방지하여 노광장치의 작업 생산성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.</p> |
