激光调整方法及其装置

摘要

一种激光调整方法,以间歇方式用激光脉冲照射电阻,在测量电阻值的同时,对电阻进行调整。定义电阻的目标阻值与激光调整过程中电阻测量值之差为△Rfm、由激光脉冲照射所产生的电阻值测量值的变化量为△R、暂停时间的初始设定值为T,当差值△Rfm大于变化量△R时的暂停时间为T,当激光脉冲照射之间的暂停时间等于或者小于变化量△R时,相邻的激光脉冲照射之间的暂停时间Tend根据如上的公式来确定（见上式）。

主权项

1．一种电阻的激光调整方法，包括如下步骤：以间歇方式对所述电阻进行激光脉冲照射，在所述激光脉冲照射的位置相对于所述电阻移动的同时，对所述电阻进行调整；对所述电阻的调整包括测量所述电阻阻值的步骤；在进行调整时，根据最终目标值与所述电阻阻值的测量值之间的差值，并根据最后一个激光脉冲照射所产生的电阻阻值测量值的变化量，确定激光脉冲照射之间的暂停时间。