Echelle grating and use of an echelle grating

摘要

Ein Littrow-Gitter (1) weist eine Vielzahl paralleler, periodisch aufeinanderfolgender Beugungsstrukturen (3) auf. Diese sind auf einem eine Grundfläche (4) vorgebenden Träger (2) angeordnet. Eine Beugungsstruktur (3) umfaßt eine im wesentlichen im Littrow-Winkel (δ) zur Grundfläche (4) geneigte Blaze-Flanke (5). Weiterhin weist die Beugungsstruktur (3) eine Gegenflanke (6) auf, die mit der Blaze-Flanke (5) im Scheitel einer Beugungsstruktur (3) einen Apex-Winkel (α) bildet, der geringer ist als 90°. Die Gegenflanke (6) umfaßt mindestens zwei im wesentlichen ebene Flächenabschnitte (7, 8). Diese erstrecken sich aneinander angrenzend gegeneinander um einen Neigungswinkel (β) geneigt parallel zur Erstreckungsrichtung der Beugungsstruktur (3). Durch die Neigung der mindestens zwei Flächenabschnitte (7, 8) zueinander weist die Gegenflanke (6) eine insgesamt von der Lichteinfallsseite her gesehen konkave Oberfläche auf. Es resultiert ein Littrow-Gitter (1) hoher Reflektivität, das mit geringem Materialabtrag bei der Herstellung realisiert werden kann. <IMAGE>