发明名称 Polymer for photoresist,photoresist composition containing the same,and preparation method thereof
摘要
申请公布号 GB2336592(B) 申请公布日期 2001.11.28
申请号 GB19990004021 申请日期 1999.02.22
申请人 * SAMSUNG ELECTRONICS COMPANY LIMITED 发明人 SANG-JUN * CHOI
分类号 G03F7/039;C08F8/12;C08F212/14;C08K5/17;C08K5/42;C08L25/18;G03F7/004;(IPC1-7):C08F212/14;C08F8/00 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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