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经营范围
发明名称
ELECTRODE, WAFER STAGE, PLASMA DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING ELECTRODE AND WAFER STAGE
摘要
申请公布号
KR20010105389(A)
申请公布日期
2001.11.28
申请号
KR1020017012111
申请日期
2001.09.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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