发明名称 Einrichtung zur Objektbeobachtung in Geraeten zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl
摘要
申请公布号 DE1119428(B) 申请公布日期 1961.12.14
申请号 DE1958Z006834 申请日期 1958.08.30
申请人 FA. CARL ZEISS 发明人 OPITZ DR. WOLFGANG
分类号 B23K15/00;H01J37/09;H01J37/16;H01J37/30;H01J37/301;H01J37/304 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
主权项
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