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发明名称 System for measuring the thickness and index refraction of a film
摘要
申请公布号 EP0760459(B1) 申请公布日期 2001.11.28
申请号 EP19960305652 申请日期 1996.07.31
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES, INC. (A DELAWARE CORPORATION) 发明人 SORIN, WAYNE V.;VENKATESH, SHALINI
分类号 G01B11/06;G01N21/45;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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