密封流体的微机电系统光开关

摘要

密封流体的微机电系统(MEMS)光开关包括一个光波导矩阵,其中MEMS反射镜(22)位于沟槽中,而沟槽位于波导交叉点(29)上。沟槽中填充了保持准直流体(30),反射镜(22)浸没在流体中。保持准直流体(30)防止光束在进入开关交叉点时扩展。此特征允许使用非常小的MEMS反射镜(22),并且防止了相关领域中出现的一些关于MEMS反射镜(22)的典型问题。特别是,本发明揭示的MEMS反射镜(22)被缩小到大约15μm宽,2μm厚,致使致动距离缩短,大约达到15μm。此特征产生一个具有更快切换时间的光开关。

主权项

1．一种用于引导光信号的光开关，其特征在于，所述光开关包括：至少一个光波导，它具有输入端、输出端和折射率为n1的纤芯部分；至少一个沟槽，它形成于所述至少一个光波导中，位于所述输入端和所述输出端之间的交叉点上；保持准直流体，它位于所述至少一个沟槽中，并且所述保持准直流体的折射率基本上与所述纤芯部分的所述折射率相同；和至少一个可移动的切换元件，它具有用于将光信号引入所述输出端的打开位置和闭合位置，所述至少一个可移动的切换元件位于所述至少一个沟槽中，并且在处于所述打开位置和所述闭合位置时基本上浸没在所述保持准直流体中。