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发明名称
摘要
申请公布号 JP3232661(B2) 申请公布日期 2001.11.26
申请号 JP19920174123 申请日期 1992.07.01
申请人 发明人
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/105;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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