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发明名称
摘要
申请公布号	JP3233193(B2)	申请公布日期	2001.11.26
申请号	JP19960165135	申请日期	1996.06.06
申请人		发明人
分类号	G01R31/26;H01L23/32;H01R11/01;H01R33/76;(IPC1-7):H01R33/76	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
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