| 摘要 |
<p>본 발명은 화학기상증착법을 이용하여 석영관으로부터 광섬유 모재를 제조하기 위한 방법에 관한 것으로서, 석영관 내부로 유입되는 원료가스를 상기 석영관의 외부로부터 가열하여 클래드층과 코어층을 형성하는 증착과정과, 상기 증착된 코어층상에 높은 굴절률을 가지는 소정의 증착층을 추가적으로 형성하는 추가증착과정과, 상기 추가증착과정후, 상기 클래드층과 코어층 및 추가된 증착층이 형성된 석영관을 연화점 이상으로 가열하여 적정 내경을 가지는 모재봉을 형성하는 응축과정과, 상기 응축과정후, 상기 추가증착증의 일부를 프레온 계열의 화합물을 사용하여 식각하며 동시에 내경을 완전히 없에는 에칭-클로즈 과정으로 구성되어 에칭-클로즈과정시 추가증착층의 수축효과에 의한 공정속도를 향상시킬 수 있다.</p> |
