发明名称 Method of etching semi-conductor bodies
摘要
申请公布号 US3023153(A) 申请公布日期 1962.02.27
申请号 US19590806187 申请日期 1959.04.13
申请人 RADIO CORPORATION OF AMERICA 发明人 KURSHAN JEROME
分类号 C25F3/12;H01L21/3063 主分类号 C25F3/12
代理机构 代理人
主权项
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