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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING SURFACE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20010104607(A) 申请公布日期 2001.11.26
申请号 KR20000059820 申请日期 2000.10.11
申请人 CUBIC VISION CO., LTD. 发明人 KANG, HO DAL
分类号 (IPC1-7):G01N21/01 主分类号 (IPC1-7):G01N21/01
代理机构 代理人
主权项
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