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发明名称 SHOWER HEAD OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20010104570(A) 申请公布日期 2001.11.26
申请号 KR20000025819 申请日期 2000.05.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHO, CHAN HYEONG;CHOI, CHEOL HWAN;JANG, SEONG HWAN
分类号 (IPC1-7):H01L21/205 主分类号 (IPC1-7):H01L21/205
代理机构 代理人
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