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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR HANDLING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 IL139156(D0) 申请公布日期 2001.11.25
申请号 IL19990139156 申请日期 1999.04.14
申请人 STEAG HAMATECH AG 发明人
分类号 B25J15/06;B25J15/00;B25J15/08;B65G;B65G47/90;B65G47/91;B65G49/05;B65G49/07;(IPC1-7):B65G 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
主权项
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