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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20010103979(A) 申请公布日期 2001.11.24
申请号 KR20000025325 申请日期 2000.05.12
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JUN, JIN HO;LEE, JONG SEUNG;SEO, TAE UK;SONG, RAE HYEONG
分类号 (IPC1-7):H01L21/205 主分类号 (IPC1-7):H01L21/205
代理机构 代理人
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