| 摘要 |
<p>본 발명은 진공증착기용 자동 시료공급장치에 관한 것으로, 시료를 공급받아 가열하여 증발시켜 주는 증발히터가 구비된 진공용기를 포함하는 진공증착기용 자동 시료공급장치에 있어서, 상기 진공용기 내부에는 일정량의 시료를 담을 수 있는 용기 형상의 컨테이너와, 컨테이너의 아랫면에 밀착되어 있으면서 그 하부에는 상기 진공용기의 외부로 돌출되도록 설치되어 그 단부에 설치된 구동수단을 제어하는 제어부의 제어로 회전속도가 제어되는 회전자와, 상기 진공용기의 바닥면에 관통설치되어 회전자의 회전으로 컨테이너에 담긴 시료를 증발히터 상으로 공급하는 공급관을 포함하는 진공증착기용 자동 시료공급장치를 제공하는데 있다.</p> |
