| 摘要 |
<p>본 발명은 역전압 펄스를 인가하여 아크 방전을 방지하는 회로에 있어서, 역전압 펄스 인가 종료후, 아크 방전 검출 수단(23)에 의하여 아크 방전의 발생이 검출된 경우에 1∼10㎲ 이내로 역전압 발생 수단(12)에서 발생시킨 역전압을 스퍼터링 소스에 인가하여 연속 아크 방전의 발생 확률을 저하시키는 동시에, 스퍼터링 소스(14)에 직렬로 접속된 다이오드(D10), 이 다이오드(D10)에 병렬로 접속된 저항(r1)에 의하여 역전압 인가시의 전류를 제한하여 역방향 아크 방전에 의한 연속 아크 방전을 저감시키고 있다.</p> |
