| 摘要 |
<p>반도체 소자의 검사 장치에 있어서 공정용 트레이를 사용함이 없이 플라스틱재의 출하용 트레이를 이용하여 IC 모듈을 이송하면서 출하용 트레이로부터 IC 모듈을 편리하고 신속 정확하게 픽킹함으로써, 작업공정의 단순화를 도모할 수 있고 작업능률을 향상시킬 수 있는 IC 모듈 픽킹장치가 개시되어 있다. 본 발명에 따르면, 제조가 완료된 IC 모듈을 검사하기 위한 핸들러에서 수행되는 IC 모듈의 이송 작업에 있어서, 프리척이 IC 모듈(M)을 픽킹하기 전에 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치의 하부에 구비된 에어 노즐과 에어 분사구를 통해서 에어를 출하용 트레이(T)에 담겨져 있는 IC 모듈(M)쪽으로 분사하여 IC 모듈(M)을 원하는 방향으로 쓰러뜨린후 프리척으로 잡아 이송시킨다. 이때, 척 업다운 트랜스퍼의 외면 하단에 배치된 한쌍의 모듈척이 프리척에 의해서 픽킹된 IC 모듈(M) 쪽으로 움직여서 IC 모듈(M)의 측면을 안내한다.</p> |
