| 主权项 |
1.一种半导体装置生产线之制程控制方法,使用:一批次管理主电脑,其藉由管理每批次的制程条件、载体ID和批次ID间的对应关系、及每批次中插槽ID和晶片ID间的对应关系而执行每批次的管理;一晶片管理主电脑,其藉由管理根据批次中晶片号码的制程条件而执行一批次中每片晶片的管理;和一转换条件指令部,其传递由批次管理主电脑和晶片管理主电脑所获得的资料给半导体制造设备;该方法具有下列步骤;向转换条件指令部要求载入半导体制造设备的载体ID的批次资讯;和转换条件指令部由批次管理主电脑获得批次的制程条件、插槽ID资讯和晶片ID资讯,如果制程的晶片是实验晶片时,不只由晶片管理主电脑获得批次中每片晶片的资讯,并传递根据插槽ID的制程条件给半导体制造设备。2.一种半导体装置生产线之制程控制方法,使用:一批次管理主电脑,其藉由管理每批次的制程条件、载体ID和批次ID间的对应关系、及每批次中插槽ID和晶片ID间的对应关系而执行每批次的管理;一晶片管理主电脑,其藉由管理根据批次中晶片号码的制程条件而执行一批次中每片晶片的管理;和一转换条件指令部,其传递由批次管理主电脑和晶片管理主电脑所获得的资料给半导体制造设备;该方法具有下列步骤;由转换条件指令部获得批次的制程条件,插槽ID资讯和晶片ID资讯从批次管理主电脑,当半导体制造设备向转换条件指令部要求载入的载体ID的批次资讯;和由转换条件指令部,如果制程的晶片是实验晶片时,由晶片管理主电脑获得批次中每片晶片的资讯,并传递根据插槽ID的制程条件给半导体制造设备。3.一种半导体装置生产线之制程控制设备,具有:一批次管理主电脑,其藉由管理每批次的制程条件、载体ID和批次ID间的对应关系、及每批次中插槽ID和晶片ID间的对应关系而执行每批次的管理;及一晶片管理主电脑,其藉由管理根据批次中晶片号码的制程条件而执行一批次中每片晶片的管理;和一转换条件指令部,其传递由批次管理主电脑和晶片管理主电脑所获得的资料给半导体制造设备,其中,该晶片管理主电脑储存个别级别的制程条件和使用的半导体制造设备的机器号码以实验步骤和晶片号码阵列的方式作为实验级别管理并经由转换条件指令部根据实验级别管理发出制程条件给半导体制造设备。4.如申请专利范围第3项之半导体装置生产线之制程控制设备,更具有:一分类器,其读取插在载体插槽中的晶片ID并传送插槽ID和晶片ID给批次管理主电脑,或是分类器读取插在载体插槽中的晶片ID并传送读取结果给批次管理主电脑。5.如申请专利范围第3项之半导体装置生产线之制程控制设备,更具有:一分类器,其读取插在载体插槽中的晶片ID并传送读取结果给给批次管理主电脑,当插槽ID和晶片ID间的对应关系与储存在批次管理主电脑中的不合时,将晶片传送到正确的批次。6.如申请专利范围第3至5项中任一项的半导体装置生产线之制程控制设备,其中实验级别管理除了具有制程条件之外还可具有每片晶片的控制特性规格。7.如申请专利范围第3至5项中任一项的半导体装置生产线之制程控制设备,更具有:显示装置,以显示实验级别管理;和校正装置,以校正在显示器的实验级别管理。8.如申请专利范围第3至5项中任一项的半导体装置生产线之制程控制设备,更具有:显示装置,以决定和显示整体级别的数目作为多个实验步骤设定级别的结果。图式简单说明:第一图是传统制程控制系统的方块图;第二图是传统制程控制系统操作的流程图;第三图是传统实验级别管理;第四图是本发明第一实施例半导体装置生产线之制程控制系统的方块图;第五图是根据本发明第二实施例半导体装置生产线的设定机器号码给制程控制系统个别设备的操作示意图;第六图是根据本发明第二实施例半导体装置生产线的设定条件给制程控制系统个别设备的操作示意图;第七图是第二实施例实验级别的示意表;和第八图是实施例操作的流程图。 |
