| 主权项 |
1.一种晶圆检查装置,包含:晶圆搬送机构,系从保持多数之晶圆的晶圆保持体取出所要之晶圆之用;晶圆载置机构,系用以载置从前述晶圆搬送机构所取出之晶圆,并将该所载置之晶圆至少亦欲予旋转所定角之用;晶圆保持机构,其系具有延伸于前述晶圆之中心方向的多数之晶圆保持部,而将前述晶圆依前述多数之晶圆保持部对在前述晶圆载置所载置之晶圆的一方面作接触且保持,而将该所保持之晶圆为观察其一方面之用而作反转(翻面);及控制机构,系依前述晶圆保持机构而使晶圆予以反转之后,再度将晶圆予以载置在前述晶圆载置机构,并将该晶圆依前述晶圆载置机构予以作所定角度旋转,同时,将前述晶圆保持机构予以作反转之用。2.如申请专利范围第1项之晶圆检查装置,其中:前述晶圆保持机构之多数的晶圆保持部,系藉由吸着前述晶圆而予保持。3.如申请专利范围第1项之晶圆检查装置,其中:前述控制机构,系使载置在前述晶圆载置机构之晶圆,以可获得比前述晶圆保持部之宽度尺寸为较大的移动量之旋转角度旋转。4.如申请专利范围第1项之晶圆检查装置,其中:前述控制机构,使载置在前述晶圆载置机构之晶圆,于前述一方面之观察时可将其旋转为能观察因前述多数之晶圆保持部所隐蔽之领域。5.如申请专利范围第1项之晶圆检查装置,其中:前述晶圆载置装置,系晶圆检查装置之中央工作台,而前述控制机构,系欲控制前述中央工作台之旋转角度。6.一种晶圆检查方法,其步骤含有:取出晶圆,系从保持多数之晶圆的晶圆保持体,取出所要之晶圆;转交晶圆,系将所取出之晶圆转交于中央工作台;翻面晶圆,系将转交于前述中央工作台之晶圆,利用多数之晶圆保持部而接触于前述晶圆之背(反)面且保持,而欲观察该所保持之晶圆的背面乃予反转(翻面);转交晶圆,系将前述所翻面之晶圆回复为于表面之状态下转交于前述中央工作台;旋转晶圆,系由于旋转前述中央工作台,乃使转交于前述中央工作台之晶圆旋转所定角度;及再度翻面晶圆,系将旋转前述所定角度之晶圆,依前述多数之晶圆保持部而接触在前述晶圆之背面且予保持,而欲观察该所保持之晶圆的背面,乃再度使其反转(翻面)。图式简单说明:第一图系表示有关本发明一实施态样之晶圆检查装置。第二图系表示于同一实施态样上之晶圆检查装置的晶圆保持臂。第三图系为说明同一实施态样有关之晶圆检查装置的动作之流程图。 |
